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电子级氢氟酸生产方法的难点

2022/3/8    来源:    作者:佚名  浏览次数:1320

1.分析控制与产品检测要求高。制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下:(1)电感耦合等离子高频质谱分析仪(ICP-MS);(2)电感耦合等离子原子发射分析仪(ICP-AES);(3)原子吸收分光光度计;(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪;(5)离子色谱分析仪;(6)激光散射液体微粒计数器;(7)水表面杂质分析系统;(8)原子间力显微镜;(9)光学显微镜微粒计数器;(10)扫描电子显微镜;(11)光学膜厚测定和表面仿形仪;(12)表面张力测定仪;(13)空气中尘埃微粒测定仪;(14)水电阻率测定仪。

2.对水质要求高,要求水的电阻率≥18.0MΩ·cm。

高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量。高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其他辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离

子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。

3.对主要生产设备材料及设备制造技术、包装技术的要求较为严格。

4.厂房、分析室、仓库等环境洁净度要求较高,与成品接触部分要达到100级。

5.整个生产过程中对产品质量管理要求极高。

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