甲基三氯硅烷是一种有机化合物，分子式CH3Cl3Si。英文名methyltrichlorosilane；methyl silicochloroform ，缩写为MTS；别名甲基硅仿、三氯甲基硅烷 ；外观与性状是无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。

类别
易燃液体
毒性分级 中毒
急性毒性 口服-大鼠LD50:1000 毫克/公斤;吸入-小鼠LC50:2572 毫克/立方米/2小时
刺激数据 眼睛- 兔子 5 毫克 / 24小时 重度; 皮肤- 兔子 500 毫克/ 24 小时 轻度
爆炸物危险特性 与空气混合可爆
可燃性危险特性 遇明火、强氧化剂可燃; 遇高温或水分解出有毒气体氯化氢
储运特性 库房通风低温干燥; 与氧化剂、酸类分开存放
灭火剂 干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211灭火剂
职业标准 TWA 705 毫克/ 立方米

物性数据
1.性状：无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。
2.熔点（℃）：-90
3.沸点（℃）：66.4
4.相对密度（水=1）：1.28
5.相对蒸气密度（空气=1）：5.2
6.饱和蒸气压（kPa）：17.9（20℃）
7.临界压力（MPa）：3.53
8.辛醇/水分配系数：2.01
9.闪点（℃）：-9（CC）；7.2（OC）
10.引燃温度（℃）：490
11.爆炸上限（%）：11.9
12.爆炸下限（%）：7.2
13.溶解性：溶于苯、乙醚。