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电子级氢氟酸的质量标准

2023/4/17    来源：    作者：佚名  浏览次数：531
因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：
1 低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；
2 中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；
3 中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；
4 高档产品（UPss），适用于0.09～0.2μm和<0.09μmIC工艺技术的制作。

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